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    產品資料

    3D共聚焦顯微鏡

    如果您對該產品感興趣的話,可以
    產品名稱: 3D共聚焦顯微鏡
    產品型號: OLS5000 3D測量激光顯微鏡
    產品展商: 奧林巴斯
    產品文檔: 無相關文檔

    簡單介紹

    奧林巴斯LEXT OLS5000 激光掃描共聚焦顯微鏡,使得非接觸式、3D 測量和觀察變得更容易。只要按下啟動按鈕,用戶就可以對微米、亞微米級別的精細形狀進行測量。易用性與先進性相結合,使得采集速度比之前的模式快了四倍。Z 軸方向從毫米到納米,通常幾秒鐘即可得到高清可靠的圖像。對于較大的樣品的客戶,LEXT 長工作距離物鏡和擴展架允許系統容納*高達210 毫米的樣品。


    3D共聚焦顯微鏡  的詳細介紹

    LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學系統(彩色成像光學系統和激光共焦光學系統)讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

    LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關鍵價值:

    • 捕捉任意表面形狀。
    • 快速獲得可靠數據。
    • 使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
    • 測量具有挑戰性的樣品。

    價值1:捕捉任意表面形狀。

     

    OLS5000顯微鏡的先進技術使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。

    價值2、快速獲得可靠數據

    該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,*終實現生產力的提升。

    價值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可

    LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數據采集功能,因而無需進行復雜的設置調整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結果。

    價值4、可測量具有挑戰性的樣品

    低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備??梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物臺上即可。

    [獲取彩色信息]
    彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
    [獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
    激光共焦光學系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。

    [405納米激光光源]

    光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統顯微鏡具有更優的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得**的橫向分辨率。

    [激光共焦光學系統]

    激光共焦光學系統僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

    [X-Y掃描儀]

    OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的**X-Y掃描。

    [高度測量原理]

    在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。

    根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴展圖像)。


    主機規格:

    型號 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
    總倍率 54x - 17,280x
    視場直徑 16 μm - 5,120 μm
    測量原理 光學系統 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
    反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡
    彩色
    彩色DIC
    光接收元件 激光:光電倍增管(2ch)
    色彩:CMOS 彩色相機
    高度測量 顯示分辨率 0.5 納米
    動態范圍 16 位
    可重復性 n-1 *1 *2 *6 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
    精度 *1 *3 *6 測量值 +/- 1.5%
    拼接圖像精度 *1 *4 *6 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
    測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *6 1 納米
    寬度測量 顯示分辨率 1 納米
    可重復性 3 n-1 *1 *6 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
    精度 *1 *3 *6 測量值 +/- 1.5%
    拼接圖像精度 *1 *3 *6 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
    單次測量時測量點的*大數量 4096 x 4096 像素
    測量點的*大數量 3600 萬像素
    XY 載物臺配置 長度測量模塊 ? ?
    工作范圍 100 x 100 mm 電動

    100 x 100 mm 手動

    300 x 300 mm 電動 100 x 100 mm 電動 100 x 100 mm 手動
    *大樣品高度 100 mm 30 mm 30 mm 210 mm 140 mm
    激光光源 波長 405 nm  
    *大輸出 0.95 mW  
    激光分類 2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)  
    彩色光源 白光 LED
    電氣功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
    質量 顯微鏡主體 約 31 公斤 約 30 公斤 約 50 公斤 約 43 公斤 約 39 公斤
    控制器 約 12 公斤



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